Park NANOstandard

原子間力顕微鏡（AFM）および走査型電子顕微鏡（SEM）測定用の校正用標準試料

製造元：Kims Reference Corp.

AFM Tip Characterizer (AFMTC)

AFMTCサンプルは、10本の超微細トレンチ（10～50 nm）と50 nmの分離されたラインから構成されています。
この校正用サンプルは、ナノスケールのトレンチ測定やAFMチップの形状特性を評価するための認定標準物質としてユーザーに提供されます。

仕様:

トレンチ幅: 10 nm, 13 nm, 16 nm, 19 nm, 22 nm, 26 nm 30 nm, 35 nm, 40 nm, 50 nm
ライン幅: 50 nm
トレンチの高さ: 100 nm (not certified)
トレンチの高さ: 4.0 mm （認証域：中央から3mm）
素材: 多結晶シリコン
トレーサビリティ: KOLAS*（KRISS**）はISO 17034:2016に準じています。

High Magnification Calibrator (HMC)

HMCサンプルは、5つの異なる幅とピッチ基準を提供する一連のラインで構成されています。
この校正用サンプルは、AFM測定やSEMの倍率の水平スケールをキャリブレーションするための、認証された基準ナノメートル定規をユーザーに提供するものです。また、校正パラメータを正確かつ簡単に求めることができる自動計算ツール【統計解析テンプレート】（Excelファイル）が付属しています。

仕様:

ライン幅s (W₁~W₅): 20 nm ~ 80 nmの範囲で5つの認証値
ピッチ値(P₁~P₅): 100 nm ~ 900 nmの範囲で5つの認証値
トレンチの高さ: 70nm（認定外）
パターンの長さ: 4.0mm（認証域：中央から3mm）
素材: 多結晶シリコン
トレーサビリティ: KOLAS*（KRISS**）はISO 17034:2016に準じています。