Park NANOstandard
원자현미경 및 전자현미경 측정을 위한 보정 표준 시료.
제조: Kims Reference Corp.
원자현미경 탐침 특성평가용 인증표준시료
원자현미경 탐침 특성평가용 인증표준시료(AFM Tip Characterizer)는 인증된 여러 개의 트렌치 너비를 갖는 나노구조체로 원자현미경(AFM) 측정 전에 미리 탐침의 곡률 반경(radius)과 경사각(cone angle) 등 탐침의 뾰족한 정도를 빠르게 점검하기 위한 표준시료입니다.
주요 사양 :
트렌치 너비: 10 nm, 13 nm, 16 nm, 19 nm, 22 nm, 26 nm 30 nm, 35 nm, 40 nm, 50 nm패턴 선폭: 50 nm
트렌치 단자: 100 nm (not certified)
패턴 길이: 4.0 mm (certified region: 3 mm from center)
재료: Polycrystalline silicon
추적 가능성: KOLAS* (KRISS**) traceable via ISO 17034:2016
현미경 고배율 교정용 인증표준시료
고배율 교정용 인증표준시료는 원자현미경(AFM) 및 주사전자현미경(SEM)으로 측정된 값과 인증된 실제 값의 차이를 보상하여 나노 단위의 범위에서 AFM과 SEM의 배율을 교정하기 위해 만들어진 표준 시료입니다. 이 표준시료는 사용자가 교정 매개변수를 정확하고 쉽게 얻을 수 있는 자동 계산 도구인 통계분석 템플릿(엑셀파일)도 함께 제공합니다.
주요 사양 :
패턴 선폭 (W1~W5): 5 certified values within 20 nm ~ 80 nm패턴 피치 (P1~P5): 5 certified values within 100 nm ~ 900 nm
패턴 단차: 70 nm (not certified)
패턴 길이: 4.0 mm (certified region: 3 mm from center)
재료: Polycrystalline silicon
추적 가능성: KOLAS* (KRISS**) traceable via ISO 17034:2016
*KOLAS: 한국인정기구
**KRISS: 한국표준과학연구원
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