Park NX-IR
化学分析と材料イメージングのためのナノスケール赤外分光器
Park NX-IRは、ナノスケールの赤外線（IR）分光器と原子間力顕微鏡（AFM）を一体化した、化学および材料の特性評価用の装置です。 Park NX-IRには、業界をリードするParkのAFM技術にモレキュラ―ビスタ社の最新の赤外分光技術である光誘起力顕微鏡（PiFM）が組み込まれています。 PiFM赤外分光法は、タッピングPTIR（光熱誘起共鳴法）を含む既存の分光技術よりも高空間分解能、高い測定信頼性、試料ダメージに対して優れたノンコンタクト技術を使っています。 Park NX-IRに搭載されたPiFMは、高分解能のIRスペクトル解析とIR吸収材料のイメージングができるため、正確な化学組成の測定が可能です。 高分解能のIRスペクトルと 従来のFTIR（フーリエ変換赤外分光法）は、互いに密接な相関関係を保ちます。 さらに、Park NX-IRは、ダイレクトドライブとサイドバンドバイモーダル検出という検出技術のバリエーションにより、深さ方向物質組成情報の検出ができます。
Park NX-IR R300
300mm半導体ウェハー用
ナノスケール赤外分光システム
Park NX-IR R300は、300mmまでの半導体ウェハーに対応したナノスケール赤外分光システムです。
化学特性情報だけでなく、半導体研究の機械特性や形状測定、故障解析、
欠陥評価などをこれまでにない高ナノ分解能を提供します。
Park NX-IR R300は、最先端のナノスケール赤外分光法と原子間力顕微鏡を統合しており、
Molecular Vista社の光誘起力顕微鏡（PiFM）モジュールを
Park NX20 300mm AFMプラットフォームに取り入れています。
Park NX-IR R300は、10nmの空間分解能で化学物質の同定ができる分光法と
原子間力顕微鏡の両方を備えたシステムとなっています。
ノンコンタクト技術を用いたことにより、ダメージフリーの分光スキャンと
業界最高レベルの空間分解能を実現しています。
さらに、サブオングストロームの高さ精度で3Dトポグラフィーと
ナノメートルの横分解能で材料をイメージングできる顕微鏡システムです。
Park PiFM分光法のメリット
Park NX-IRは、ノンコンタクト方式を採用しているため、タッピングや他の方式と異なり、試料にダメージを与えることがありません。
さらに、チップが汚れることもないため、スキャン中、最高の分解能と精度を維持することができます。Park PiFMはダイレクトドライブとサイドバンドバイモーダル検出により、
試料の深さ方向の物質組成情報を提供します。
Park PiFM分光法の高空間分解能材料イメージング
Park NX-IRは、従来の赤外分析法とナノスケール赤外技術の両方において、より高い空間分解能を提供します。
これは、化学情報を検出するためのPark AFMが採用しているノンコンタクト方式とサイドバンド技術によって実現されています。
化学物質のマッピングで卓越した空間分解能を実証
PS-b-PMMAブロック共重合体の材料イメージング、（a）1493cm-1におけるPSのIRマッピング像、
（b）1731cm-11におけるPMMAのマッピング像、（c）PS-PMMAマッピングの重ね合わせ像。