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  • Park
    NX20
    AFM 仕様

 

Park NX20 仕様

スキャナ

Z スキャナ

フレクチャーガイド式高力スキャナ

スキャン範囲: 15 µm(オプションにて30 µm)
ハイト(高さ)ノイズレベル: 30 pm
0.5 kHz bandwidth, rms (typical)

XY スキャナ

デュアルサーボ・クローズドループ制御のシングルモジュール・フレクチャー式XYスキャナー

スキャン範囲 : 100 µm × 100 µm
(オプションにて50 µm × 50 µm)

 

ステージ

Zステージ駆動距離:25 mm(電動)
フォーカスステージ駆動範囲:15 mm(電動)
XYステージ駆動範囲:150 mm x 150 mm(電動)

 

サンプル

サイズ:最大100 mm × 100 mmのオープンスペース、 厚さ最大20 mmまで(オプションにて最大200 mm x 200 mmまで可)
重量 : < 500 g

 

光学系

10x (0.23 N.A.) ウルトラロングワーキングディスタンスレンズ(分解能:1µm)
サンプル表面とカンチレバーの直上観察対物レンズ
視野:840 × 630 µm(10x対物レンズ使用の場合)
CCDピクセル:1 Mピクセル, 5 M ピクセル(オプション)

 

ソフトウェア

SmartScan™

AFMシステム制御、およびデータ取得ソフトウェア
フィードバックパラメーターをリアルタイムに調整
外部プログラムによるスクリプトレベルの制御(オプション)

XEI

AFMデータ解析ソフトウェア

 

エレクトロニクス

 

内蔵機能

 

デジタルロックインアンプ4チャンネル
デジタルQコントロール


信号処理
  • ADC:18チャンネル 4つの高速ADCチャンネル X、Y、Zスキャナ位置センサー用24ビットADC
  • DAC:17チャンネル 高速DAC 2チャンネル 20ビットDAC X、Y、Zスキャナ位置決め用
  • 最大データサイズ:4096 x 4096 ピクセル

<strong外部信号アクセス
組込み信号入出力20ポート
TTL出力5系統:OF, EOL, EOP, モジュレーション、ACバイアス
 

AFMモード
(*オプションにて可能)

スタンダードイメージング

真のノンコンタクト™ AFM
PinPoint™ AFM
コンタクトAFM
水平力顕微鏡(LFM)
位相イメージング
タッピングAFM

力測定

フォースディスタンス(F/d)スペクトルスコピー
フォースボリュームイメージング

誘電・圧電特性

静電気力顕微鏡(EFM)
Dynamic Contact EFM (EFM-DC)
圧電応答力顕微鏡(PFM)
高電圧PFM*

機械特性

フォースモジュレーション顕微鏡(FMM)
ナノインデンテーション*
ナノリソグラフィー*
高電圧ナノリソグラフィー*
ナノマニピュレーション*

磁気特性*

磁気力顕微鏡(MFM)
チューナブルMFM

 

電気特性

コンダクティブAFM(C-AFM)*
IVスペクトルスコピー*
ケルビンプローブフォース顕微鏡(KPFM)
走査型キャパシタンス顕微鏡(SCM)*
走査型拡がり抵抗顕微鏡(SSRM)*
走査型トンネリング顕微鏡(STM)*
フォトカレントマッピング(PCM)*

化学特性*

化学力顕微鏡(機能化チップ付)
EC-AFM

 
 

AFMオプション

あらゆるプロジェクトに対応できるよう、AFMをカスタマイズ

自動データ収集・分析で時間短縮

option-automatic-data

NX20は、あらかじめ設定した手順(レシピ)に従ってサンプルのAFM測定を自動的に行うParkの 自動化制御ソフトウエアを搭載しています。コグネックス製ボードと光学系モジュールを用いて、正確なデータ収集、パターン認識、解析を行い、 ほとんど手を加えることなくエクスポートできるので、より多くの時間を革新的な研究に費やすことができます。

サイドウォールイメージング用サンプルティルティングステージで、さらなる可視化

option-sidewall

NX20の革新的なアーキテクチャにより、試料の側壁や表面を検出し、その角度を測定することができます。 これにより、より革新的な研究を行い、より深い洞察を得るために必要な多用途性が備わっています。

            

アクティブ温度制御アコースティックエンクロージャー

革新的な制御設計により、Park NX20は素早く温度平衡に到達します。
また、Park NX20はアクティブ防振を採用しています。


電動ステージ用エンコーダ

•エンコードされたXYステージは、1 µmの分解能で2 µmの繰り返し精度で移動します。
•エンコードされたZステージは、0.1 μmの分解能で1 μmの再現性で移動します。

サンプルプレート

•電気測定専用小型サンプルホルダー
•ウェハーを保持するための真空溝



温度制御

温度制御ステージ 1:-25 °C ~ +170 °C °C °C
温度制御ステージ 2:常温 ~ +250 °C
温度制御ステージ 3:常温 ~ +600 °C

 

外形寸法図(単位:mm)

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