チップスキャンヘッドを備えたPark NX-TSHシステムは、
300mmを超えるサンプルを自動分析できるよう設計されている

原子間力顕微鏡(AFM)のリーディングカンパニーであるパーク・システムズは、300mmを超える大型サンプル自動解析用のチップスキャンヘッド（Tip Scan Head）Park NX-TSHを発表しました。Park NX-TSHは、主に大型で重いサンプルであるフラットパネルディスプレイガラス向けに開発され、マイクロプローブステーションを統合することにより、電気特性分析用のコンダクティブAFM（C-AFM）を備えています。

パーク・システムズは、６月２７日から２９日まで開催されるSEMICON ChinaにてPark NX-TSHのライブデモを行う予定です。

チップスキャンヘッド(TSH)は、OLED、LCD、フォトニクス用に開発された300mmを超える大型サンプルの産業用AFMにおいて自動測定のための移動式チップヘッドです。チップスキャンヘッドは、エアベアリングステージ上を移動し、X、Y、Zスキャナーを組み合わせて基板上の目的地点まで直接移動します。

「Park NX-TSHは、300mmサイズの限界値を超える次世代フラットパネルディスプレイを扱う製造企業のために特別に開発されました。」とパーク・システムズはコメントしています。「さらにPark NX-TSHは、専用の導電性プローブを用いてサンプル表面に電圧を印加しながら走査し、サンプル表面の電気特性計測を行うコンダクティブAFM（C-AFM）も可能です。」

自動化されたPark NX-TSHシステムは、サンプルまで直接移動し、粗さ測定、ステップ高さ測定、CD測定および側壁測定における高解像度画像を生成することで、ナノ計測の課題を解決します。

Park NX-TSHは、チップをX/Y方向に、最大100µm x 100µmおよびZ方向に15µmzスキャンでき、大型で重いサンプルに対応するフレキシブルチャックを備えています。大型フラットパネルディスプレイの需要が65インチ、75インチなどと大きくなるにつれて、Park NX-TSHは自動化されたチップスキャンシステムでこれらの要求に応えられます。

サンプルはサンプルチャックに固定され、ガントリーに取り付けられたチップスキャニングヘッドがサンプル表面の測定位置まで移動するため、サンプルのサイズと重量の制限にとらわれない仕組みになっています。

パーク・システムズの原子間力顕微鏡は、最も正確でサンプルや探針を傷つけない非破壊的なナノ計測を得意としています。Park NX-TSHを活用すると、OLED、LCD、フォトマスクなどにおいて信頼性の高い高解像度のAFM画像を取得でき、生産性と品質の向上にもつながります。

Park NX-TSHについての詳細はparksystems.co.jp/nx-tshにて公開されています。