原子間力顕微鏡（AFM）の世界的リーディングカンパニーであるパーク・システムズが新しく発表したPark SmartLitho™は、パーク・システムズの革新的なAFMオペレーティングシステムSmartScan™に新しく追加されたモードです。Park SmartLitho™は、ナノデバイス用の次世代ナノパターニング技術を取り入れており、カスタマイズされた表面改質ナノセンサーに大きな可能性をもたらします。

ナノリソグラフィのプロセスは、直感的なユーザインターフェースを備えたPark SmartLitho™ソフトウェアによって制御されます。シンプルなグラフィックスソフトウェアで絵を描くのと同じくらい簡単にリソグラフィプロセスを実現できます。マウス操作だけで、オブジェクトを簡単に描画、サイズ変更、移動できます。ビットマップイメージをラスター形式化およびベクター形式ナノリソグラフィ用にインポートも可能です。

「Park SmartLitho™は、初心者からエキスパートまですべてのユーザーの間で定評のあるオペレーティングソフトウェアPark SmartScan™にAFMベースのナノリソグラフィ、ナノマニピュレーションを組み合わせたモードです。」とパーク・システムズの事業部長Lee Keibock氏は述べます。「SmartLitho™の半導体技術のための集積回路および部品を含む多くのアプリケーションは、非常にコンパクトなトランジスタと回路を構築する能力により、より小さなデバイスだけではなく、コンポーネントの電力効率とパフォーマンスも向上させます。」

Park SmartLitho™は、過度の力、または電圧バイアスのいずれかを適用させることによってナノリソグラフィを実行します。Park AFMシステムを使用する通常のナノリソグラフィモードでの印加電圧の範囲は、-10Vから+10Vまでとなっています。より高い電圧範囲を必要とする特殊な状況のために、高電圧ナノリソグラフィモードが開発されてきました。外部高電圧ツールによって、AFMシステムを外部電圧増幅器に接続させ、チップやサンプルのバイアスが10Vを超える実験や測定を可能にします。高電圧リソグラフィで使用可能な電圧範囲は、使用された外部の電圧増幅器によります。

Park SmartLitho™ ソフトウェアは、様々なリソグラフィモードを提供し、ベクターモードとラスターモード、パーク・システムズ独自のSmartScan™オペレーティングシステムを使用した直感的なユーザインターフェース、スタンドアロン型の便利な描画編集機能を備えています。

「Park SmartLitho™を使うことで、シリコンウェーハの表面を局所的に酸化させ、PZTフィルムの強誘電性分域を切り替えることで、簡単に複雑な構造のバイアスサポート式ナノパターン化を行うことができます。」とLeeは付け加えます。

Park SmartLitho™のもう一つの重要な機能として、マニピュレーションアプリケーションもサポートしており、ターゲットオブジェクトにおけるパラメータ設定を簡単にするUI環境を備えています。Park SmartLitho™は、デバイスエンジニアリングアプリケーションにおいて完璧なソリューションを提供します。

非常にユーザーフレンドリーなPark SmartLitho™は、初心者でも高い正確性、スピード、熟練度にてリソグラフィやナノマニピュレーションを行うことができます。パーク・システムズの最先端技術SmartLitho™は、クローズドループシステムによって動作し、今日の進化した回路設計と構造において重要であるベクターナノリソグラフィを生成します。

Park SmartLithoの詳細については、ACS会議上のパーク・システムズのバーチャルブースにお越しいただくかhttp://www.parksystems.co.jpをご覧ください。

このAFMトポグラフィーイメージは、電圧バイアスによって生成されたナノスケールの酸化物パターンの設計を示しています。上記のPark NX10とSmartLitho™ソフトウェアを使ったナノリソグラフィは、様々な複雑なパターンで構成されており、高さが0.8~1.5nmの複数の小さな酸化物ナノ構造となっています。

パーク・システムズについて

パーク・システムズは、原子間力顕微鏡（AFM）システムにおいて急成長を遂げている、世界をリードするAFMメーカーです。化学、材料、物理学、生命科学、半導体、データストレージ業界の研究者やエンジニアのために幅広い製品を提供します。私たちの使命は、研究者やエンジニアが世界で最も多くの問題を解決できるよう、ナノスケールの進歩を可能にし、科学的発見とエンジニアリングにおける革新の境界を押し広げることです。パーク・システムズのお客様は、世界上位20社の半導体企業が大半数で、アジア、ヨーロッパ、アメリカ大陸の国立研究大学がほとんどです。パーク・システムズは、韓国証券取引所（KOSDAQ）上場企業で、本社は韓国の水原（スウォン）にあり、米国カリフォルニア州サンタクララ、ドイツのマンハイム、中国の北京、日本の東京、シンガポール、メキシコのメキシコシティに地域本部を置いています。詳細については、www.parksystems.co.jpをご覧ください。