クロストークを排除したスキャナ構造により、スキャン位置、スキャンレート、スキャンサイズに関わらず、フラットな直交XYスキャンを可能にしました。オプティカルフラットのような極めて平坦なサンプルや、 様々なスキャンオフセットがある場合でも、湾曲が生じない設計となっています。非常に正確な高さ測定と精密なナノ計測で研究・エンジニアリングにおける難しい問題も解決できます。

Park AFMは、業界で最高水準の低ノイズZ検出器を搭載しており、0.02nmのノイズを実現しています。これにより、エッジのオーバーシュートのない、 高精度なサンプルの形状測定を行うことができます。Park NXシリーズは時間を節約し、より良いデータを得ることに貢献します。

真のノンコンタクト™モードは、スキャン中のチップとサンプルのダメージを防ぐことにより、高解像度で正確なデータを取得し続けることができるPark AFMシステム独自のスキャンモードです。

スキャン中にチップがサンプルに接触し続けるコンタクトモードや、周期的にチップがサンプルに接触するタッピングモードとは異なり、ノンコンタクトモードはサンプルに接触することがありません。 このため、チップ先端の形状を維持したまま、最高分解能でのイメージングが可能です。また、チップとサンプルが接触しないため、柔らかいサンプルも傷つけずに測定することができます。

さらに、ノンコンタクトモードでは、チップの周囲で発生するチップとサンプルの相互作用も感知します。チップをサンプルに近づけた際に横方向に発生する力も検出するため、 サンプル表面に突如現れる壁への衝突を避けることができます。コンタクトモードやタッピングモードでは、チップの下方から発生する力しか検出できないため、このような衝突に弱いのが欠点です。