Park NX20 Lite -Specifications

Park NX20 Lite 仕様

フレクチャーガイド式ハイフォーススキャナ
スキャン範囲： 15 µm (オプションにて30 µm)

クローズドループ制御のシングルモジュールフレクチャー
スキャン範囲： 100 µm × 100 µm

電動Zステージ駆動範囲：25.5 mm
(オプション; ステージの再現性を向上させる高精度エンコーダ)

電動XYステージ駆動範囲：
　150 mm (オプションにて200 mm)
(オプション; XYステージの繰り返し精度を
向上させる高精度エンコーダ)

サンプルサイズ： 150 mmまでのウェハー
200 mmまでのウェハー
(オプション; 200 mm真空サンプルチャック)

AFMシステム制御とデータ収集ソフトウェア
Autoモード: 迅速なセットアップと簡単なイメージング
Manualモード: よりアドバンスな機能と細かいスキャン制御

AFMデータ分析ソフトウェア
スタンドアローン設計で、AFMから離れた場所にインストールし、データの分析が可能
取得したデータの3Dレンダリングが可能