原子間力顕微鏡AFMの世界的大手メーカーである Park Systemsは、2021年2月15〜19日のSEMI Technology Unitesグローバルサミットで、 300mmを超える大規模サンプル分析用の唯一の自動チップスキャンヘッドである Park NX-TSH を新たに展示します。 Park NX-TSHは、 大きくて重いサンプルのフラットパネルディスプレイガラス、2Dエンコーダサンプル用であり、マイクロプローブステーションを統合することにより、 電気的欠陥分析用のコンダクティブAFMを備えています。

世界の有機LED（OLED）市場規模は2019年に32,463.5百万米ドルと評価され、 2027年までには203,069.9百万米ドルに達すると予測されており、2020年から2027年にかけて21.7％のCAGRを記録することとなります。 OLED市場の成長を促進する主な要因は費用効果が高くエネルギーを節約するOLED照明、OLEDを採用する政府のイニシアチブの増加、ディスプレイおよび大画面バックライトの市場の成長が挙げられます。

チップスキャニングヘッド（TSH）は、大型サンプル分析用のOLED、LCD、フォトニクス用に開発された、 300mmを超える大規模サンプルの産業用AFM測定用の自動移動チップヘッドのことです。 自動化されたチップスキャンヘッドは、エアベアリングステージテクノロジーで移動し、x、y、zスキャナを組み合わせて基板上のポイントに直接移動します。

「ParkNX-TSHは、300mmサイズの制限を克服することを目的として、 次世代フラットパネルディスプレイを製造するためにファブを設置するメーカー向けに特別に開発されました」と、 ParkSystemsのアメリカ支社の支社長Keibock Lee氏は述べます。 「コンダクティブAFMを使用することで、Park NX TSHはサンプル表面に接触し、 小さなデバイスまたはチップに電流を供給するオプションのプローブステーションでサンプル表面を測定します。」

自動チップスキャンシステムは、 サンプル上の特定したポイントに直接移動し、粗さ測定、ステップ高さ測定、限界寸法測定、側壁測定の高解像度イメージを生成する ガントリースタイルのチップスキャナーシステムで、ナノ計測の課題を克服します。

「Park Systemsは、Park NX-TSH（チップスキャニングヘッド）システムを開発したことで、 Gen10 +およびすべての大型フラットパネルディスプレイ用のAFMツールをスケールアップさせ、 300mmを超える大規模サンプル分析用の唯一の自動チップスキャンヘッドを誕生させました。」とLee氏は付け加えます。

サンプルはサンプルチャックに固定され、 ガントリーに取り付けられたチップスキャニングヘッドが表面サンプルの測定位置に移動する仕組みとなっており、 チップスキャニングヘッドシステムは、サンプルのサイズと重量の制限を克服します。

原子間力顕微鏡は、ナノスケールでサンプルを測定する最も正確で非破壊的な方法であり、 Park NX-TSHにより、ガントリースタイルのブリッジシステムでOLED、LCD、フォトマスクなどの信頼性の高い高解像度AFMイメージを取得することで、生産性と品質の向上に繋げることができます。

詳細につきましては、SEMI Technology Unites Global ConferenceのPark Systemsのブースにアクセスいただくか、こちらにお問い合わせください。inquiry@parksystems.com

Park Systemsについて

Park Systemsは、原子間力顕微鏡（AFM）業界において最も急速に成長し、世界をリードするメーカーです。 化学、材料、物理学、ライフサイエンス、半導体、およびデータストレージ業界の研究者およびエンジニア向けの幅広い製品を提供しています。 私たちの使命は、科学者やエンジニアが世界で最も差し迫った問題を解決し、科学的発見や工学革新の限界を押し上げるためのナノスケールの進歩を可能にすることです。 Park Systemsの顧客には、アジア、ヨーロッパ、南北アメリカの世界トップ20の半導体企業と国立研究所や大学のほとんどが含まれます。 Park Systemsは、韓国の水原に本社を置き、米国カリフォルニア州サンタクララ、ドイツのマンハイム、中国の北京、日本の東京、シンガポール、 メキシコのメキシコシティに地域本部を置く韓国証券取引所（KOSDAQ）の上場企業です。Park Systemsの詳細については、 www.parksystems.co.jpをご覧ください。