2018年12月3日 - カリフォルニア州サンタクララ

原子間力顕微鏡の世界的なメーカーであるパーク・システムズ社は、CIO Review Magazineの2018年最も有望な半導体技術ソリューション・プロバイダーのトップ20に選ばれました。記事「顧客ニーズと性能要件に重点的に取り組み、半導体計測ソリューションを開発するパーク・システムズ社を評価」のCIO Review編集長、Jeevan Georgeは「この評価は半導体技術ソリューションを提供し、市場に影響を与える最先端の企業に与えられるものである」と述べました。

<Park NX-Wafer> 
最大1000％まで欠陥レビューの生産性を向上させる欠陥の画像化と分析のための完全自動化されたAFMソリューション、そして自動欠陥レビューを装備した唯一のウェハーファブAFM

パーク・システムズ社のインライン半導体製造プロセスは、複数大手半導体メーカーとベルギーに本部を置くナノエレクトロニクスのグローバル研究センターであるIMECとの共同開発を通じて開発された革新性と卓越性を実証しています。IMECベルギーのインライン検査・計測部の上級研究員、Tae-Gon Kimは「パーク・システムズ社が製造する原子間力顕微鏡は特許取得済みのナノ構造測定用の非破壊設計とハイブリッド計測への容易な適応により、次世代のインライン測定ソリューションとして急速に普及している」と述べています。

トップ5を含む世界中の半導体企業がナノスケール顕微鏡に必要な、例えば自動欠陥レビュープロセスを完全に自動化して生産性を1,000％向上させるベアウェハー製造用に設計されたPark NX-Waferのような革新的なAFMシステムを活用するため、パーク・システムズ社と提携しています。

パーク・システムズ社は半導体製造用の自動化産業用AFMにおいて、生産性とデバイス性能を大幅に改善する高分解能3D AFM計測用の新しいアプリケーションとともに、プロセス開発、生産、欠陥解析における既存の光学計測を補完するソリューションの開発を進めています。