Luc Van den hove博士（Imec社長兼CEO）およびSang-il Park博士（Park Systems会長兼CEO）

原子間力顕微鏡（AFM)および計測ソリューションのグローバルリーダーおよびイノベーターであるパーク・システムズと、ナノエレクトロニクスおよびデジタルテクノロジーにおいて世界をリードする研究開発およびイノベーションハブであるimecは、４年以内に次世代のインラインAFM計測ソリューションの開発努力を高めるため、第2次共同開発プロジェクト（Joint Development Project : JDP）に署名しました。 公式の調印式は、2020年2月17日、ベルギーのルーベンにあるimecの本社で行われました。

新しいJDPは、コラボレーションをさらに拡張して、ウェーハ半導体セクター向けのAFM計測ソリューションの新規開拓を探求します。 表面粗さ、クリティカルディメンション（Critical Dimension）、側壁粗さなどの半導体研究におけるインラインAFM計測の可能性が最初のJDPで成功裏に示されました。今回、2番目のJDPは、デバイスと3Dアセンブリスタッキングの幾何学的寸法を継続的に縮小するという現在の計測学的課題に対処するために、複数の戦略的開発を対象としています。

「imecなどの主要な研究センターとの連携は、研究および産業市場のニーズに対応する最高の技術的ソリューションを提供するために重要です。この使命について再びimecと提携できたことをとても嬉しく思います。実り多いさらなる協力を楽しみにしています 」とパーク・システムズのCEOであるSang-il Park博士はコメントしました。

「パーク・システムズはここ数年で大きく成長しました。これは、パークとの共同開発の取り組みにも間違いなく役立ちます。今締結した新しい共同開発プロジェクトは、私たちが一緒にした最高で美しいコラボレーションを紹介しています」 imecのR＆Dマネージャー。

2015年に最初のJDPに署名した後、パーク・システムズは正式にimecの産業提携プログラム（IIAP）に参加し、IIAPのメンバーになりました。 それ以来、パークとimecの研究者とエンジニアの学際的なチームは、半導体産業の生産歩留まりとデバイスパフォーマンスを向上させるために設計された新しいプロトコルを開発するという目標に従っています。 パートナーは、新しいJDPの実用的な問題解決アプリケーションに重点を置き、革新的な3D計測機能を提供して、より小さな半導体デバイスの市場課題に対応することを目指しています。

パーク・システムズについて

パーク・システムズは、化学、材料、物理学、生命科学、半導体、データストレージ業界の研究者やエンジニア向けの幅広い製品を備えた、原子間力顕微鏡（AFM）システムの世界で最も急速に成長しているメーカーです。 パークの製品は、世界中の1000以上の研究機関や企業で使用されています。 パークのAFMは、独自のテクノロジーと革新的なエンジニアリングにより、ナノスケールの解像度で最高のデータ精度、優れた生産性を低い運用コストで提供します。 パーク・システムズ Inc.はカリフォルニア州サンタクララに本社を置き、韓国にグローバルな製造およびR＆D本社を置いています。 パークの製品は、米国、韓国、日本、シンガポール、ドイツ、中国、メキシコに地域本部を置き、ヨーロッパ、アジア、およびアメリカ大陸全体の販売パートナーと共に世界中で販売およびサポートされています。 詳細については、http：//www.parksystems.comにアクセスしてください。