微細パターン形成に関するシンポジウムに参加いたします。
技術展示にて展示および講演会にて発表も行いますので、是非ご参加ください。
- 日時： 2022年9月7日～9日
- 主催： Nano-Micro Fabrication Symposium実行委員会
- 展示場所： 東北大学 環境科学研究科本館 1階展示スペース 技術展示場
- 発表日時： 9月7日水曜日 12:50-13:10
- 発表場所： 東北大学 環境科学研究科本館 2階大会議室
- プログラム: こちらをクリック
半導体加工技術を応用して微細パターンを形成するナノマイクロファブリケーションは、半導体のみならずセンサや微小光学部品などの幅広いデバイス作製に欠かせない技術です。 その要であるリソグラフィ技術のほか、エッチング、成膜、インプリント、めっきなど、様々な技術が複合的に用いられますが、加工装置や計測装置の進歩により、その応用範囲が拡大しています。 本シンポジウムでは、デバイス分野の研究開発を加速させることを目的として、最新の加工装置や計測装置で可能となるナノマイクロファブリケーションに関する講演とハンズオンの実習を行います。